激光调阻机/激光修阻机/激光刻阻机

SET3/1064/532/355，SFT3：激光刻阻机/激光修阻机/激光调阻机



激光调阻机的产品特点：



调阻精度高：先进的激光器提供了TEM00高光束质量和极细线宽的激光束；四线制高速测量系统，测量时间仅为25us；拥有软件预调误差补偿功能；　



调阻速度快：先进的激光器拥有极高的重复频率，在保证光斑重叠率的情况下能拥有很高速度；德国进口扫描振镜，扫描速度极快；高精度分步重复机构，空气轴承，移动速度及加速度快；　



可靠性高：整机配置核心器件均采用原装进口配置；采用花岗岩台座，稳定可靠；　



功能强大：拥有温度实时补偿功能；同时具有激光划片和打标功能；　



运行及维护成本低廉：采用半导体端面泵浦或光纤激光器；使用寿命长，性能稳定；电光转换效率高，节约用电成本；采用风冷系统，无须外置冷却设备；操作简单，无须高额培训成本；　



激光调阻机技术参数：　



激光器系统：　



激光类型：半导体端面泵浦激光器 / 光纤激光器　



激光波长：1064/532/355nm　



激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)　



激光频率：200Hz-50KHz　



典型光斑尺寸：30μm　



实际切口取决于材料、光学器件和波长；可根据需要选配532绿激光或355紫外激光最小光斑达12μm　



泵浦源使用寿命：20,000—100，000小时　



冷却方式：风冷　



对焦方式：计算机程序控制　



激光束定位系统：　



激光束运动范围：75mmX75mm（可选配其他规格）　



点到点运动时间：5ms（典型）　



最大速度：7000mm/s　



重复定位精度：2.5μm　



激光束最小步进：0.76μm　



图像监视系统：　



监视方式：激光同轴监视　



最大放大倍数：>100倍　



图像监视显示屏：19寸液晶　



测量系统：　



激励方式：电流/电压激励　



恒流源：0.01μA~100mA计算机程控选择　



恒压源：0~20V计算机程控选择（可选其它电压范围）　



电阻测量方式：四线制加电流测电压　



直流电压测量：10mV~10V（满程电压）　



调节对象发热控制：程序可设定　



电阻测量精度：低阻：

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